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NanoFocus共聚焦显微镜微系统技术——测量微小零件复杂表面
2018-03-20 23:00:57




       微型化的趋势提出了一个不断的挑战。最小组件的生产和质量控制对应用测量技术提出了挑战。在小型化的机电和光学元件的生产中,在生产中的缺陷的工作率取决于复杂的表面几何尺寸的一致性。在微系统技术产品通常在三个维度设计了一个视觉系统的二维光学检查是不够的。高纵横比是很难捕捉到与传统的光学技术,以及与触觉仪器。这就是为什么纳米焦点测量系统的应用。
应用实例

       与µsurf系列共聚焦显微镜和µscan 3D扫描共聚焦显微镜特性的几何可以测量的,在制造过程中的各个阶段的非接触式和非破坏性的方式自动计算。在机械制造、光学和化学成分的NanoFocus 3D扫描共聚焦显微镜测量系统帮助制造商降低成本和生产无缺陷产品。

压力传感器


在通过蚀刻的高压传感器的生产中,各种几何参数(深度,宽度,层的厚度)和粗糙度被检查来配置制造过程。µ冲浪捕捉表面粗糙度、支柱的微观几何形态,以及涂层的金属表面都只测量。
菲涅尔透镜


       当在玻璃中检查亚微米结构时,测量仪器必须可靠地测量,同时,具有高的分辨率-即使在弱反射的情况下。为了实现这一µ冲浪可以适应材料的反射特性。
微流控芯片


       在微流控芯片的表面面积的评价通常是必需的。三维轮廓扫描定制µ经常选择的解决方案。尽管陡峭的边缘,非常平坦的表面,它可靠地确定横截面面积,高度,宽度,和阀门和通道的体积。该软件使各种参数的分析,只需点击几下。
显微透镜


       微透镜可以三个维度和非破坏性在使用µ冲浪技术生产过程中各阶段的测量。检查成型工艺的质量,主和副本进行了比较和定量提出的偏差。透镜的几何形状被自动捕获在制造的透镜阵列的检查。拼接和自动对焦功能,使得完整的透镜阵列被收购。

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