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扫描电镜的工作原理
2020-11-11 17:07:52


       扫描电镜是目前应用非常广泛的扫描设备,其原理也挺复杂的,其具有的优点也非常的显著。操作者只有完全了解到了扫描电镜的工作原理才能够更好的使用扫描电镜。下面小编将为您详细介绍一下扫描电镜的工作原理,详情如下:

扫描电镜( SEM) 的工作原理

是由电子枪发射出来直径为50μm(微米)的电子束,在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚,形成直径为5nm(纳米)的电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,同时同步探测入射电子和研究对象相互作用后从样品表面散射出来的电子和光子,获得相应材料的表面形貌和成分分析。从材料表面散射出来的二次电子的能量一般低于50 eV,其大多数的能量约2 ~ 3 eV。因为二次电子的能量较低,只有样品表面产生的二次电子才能跑出表面,逃逸深度只有几个纳米,这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再通过电信号放大器加以放大处理,最终成像在显示系统上。扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号,将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。

优点:

具有景深大,图像富有立体感,分辨率高,图像放大倍数高,显像直观,样品制备过程相对简单,可连接EDAX(X-射线能谱分析仪)进行微区成分分析

我司制作出了多种扫描电镜,用户可以根据自己的需求购买自己想要的扫描电镜,欢迎前来咨询购买。
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