表面三维形貌测量仪可以通过在物体的几何表面上创建点云来创建更精确的模型，用于插值物体的表面形状。 如果检测器可以获得表面颜色，则可以在重建的表面上进一步粘贴纹理映射，即所谓的纹理映射。
表面三维形貌测量仪的两个应用：
1.玻璃屏检测
玻璃屏常见于日常生活所用的智能技术产品中，例如人工智能通过手机、智能手表，还有一个平板电脑等。以手机玻璃屏为例说明表面三维形貌测量仪在其中的应用，为了能够获得企业更好的触屏体验，选取可以测量工作区域研究发现了肉眼无法观测到的划痕，玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近，需要对玻璃屏的表面粗糙度和微观轮廓信息进行分析检测。
2.玻璃表面台阶检测
需要测在透明玻璃材料表面所镀的一层金属膜的膜层厚度，由于其非透明的特性，和其膜层厚度控制精度在纳米技术级别，薄膜测厚仪无法及时进行分析测量，接触式的台阶仪和其它的非接触式光学仪器也存在一个测量系统误差影响较大的风险，而以光学干涉主义原理为基础研制成的中图仪器表面三维形貌测量仪，以其亚纳米级别的方法测量数据精度，则可对该膜层厚度可以进行比较准确定位测量。利用该软件对重建的三维图像进行二阶高度检测，并通过数值计算得到二阶高度的差值。
