一、扫描电镜对样品的要求
1.样品不会被电子束分解
2.扫描电镜电子束扫描下热稳定性好
3. 扫描电镜提供电力和热导率
4.尺寸和厚度应适合样品台的安装
5.观察扫描电镜表面应干净且无污染物
6.进行微区成份数据分析的表面应平整
二、扫描电镜的样品制备方法
1、块样
对于金属、岩矿石或不可订购材料，扫描电镜切割至所需尺寸并粘在样品表上。如果样本数很大，请注意样本大小最好相同。扫描电镜微区零件分析样品表面应平台或地面抛光，可以保证检测时几何条件不变。对于样本部分，要选择有小起伏的部分，最好分析小平坦区域附近的点。
2、粉样
（1）微米级粉末：将粉末样品撒在扫描电镜样品台的双面胶带上，用手指在样品台周围弹动，粉末会均匀地四处移动，铺一层，将样品台放在一边，抖掉多余的粉末；用纸边轻轻刮压粉面，使粉面和胶面粘牢；用耳球从不同方向吹粉。经过这一过程，粉末已经牢固而均匀地粘附在双面胶带上。
（2）对于亚微米级或纳米粉料进行有效成分研究分析：利用扫描电镜压片机压成结实的薄片，把薄片用双面胶粘在一个样品工作台上。
