扫描电镜是透镜与光学显微镜之间的一种微观形态观测,可直接利用样品表面材料的特性进行显微成像。
一、扫描电镜的优点:
① 放大倍率高,可在20万至20万次之间连续调节;
②它有很大的景深,很大的视野,而且成像是立体的。 可以直接观察到各种样品不平整表面的精细结构
③试样制备简单。
二、扫描电镜的放大倍数:
扫描电镜的放大倍数可以表示为M =Ac/As,其中AC-屏幕上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描幅度。一般Ac是固定的(一般100 mm),所以可以通过改变As来改变放大率。
三、扫描电镜的景深:
景深是指对焦前后的距离范围。该范围内所有物体形成的图像满足分辨率要求,可以是成清晰图像;即景深是能看清楚的距离范围。
由于图像视图深度大,由此产生的扫描电子图像具有丰富的三维意义。电子束的视野深度取决于区分d0和电子束出没的半角α的临界能力。其中,临界分辨率能力与放大度有关,因为人眼的分辨率能力约为0.2毫米,放大后,要让人感觉清晰,电子束的分辨率必须高于临界分辨率d0:电子束的射点角度可以通过改变光束的大小和工作距离来调整,具有小尺寸的光线和较大的工作距离可以获得小的射点电子角度。