1、电子光学系统
主要用于产生能量分布极窄的电子束，并确定扫描成像的电子能量。
电子枪：用于产生电子，主要进行分类方法如下：
电磁透镜：热发射的电子需要电磁透镜才能形成光束，因此电磁透镜在带有热发射电子枪的扫描电镜中是必不可少的。
样品上的电子束扫描动作和视频管上的扫描动作保持严格同步，扫描线圈的功能是偏转电子束，并在样品表面进行规则扫描，因为它们由同一扫描发生器控制。
2、信号检测系统
电子被一系列电磁透镜捆绑后，撞击样品并与之相互作用，会产生二次电子、俄歇电子、背散射电子、X射线等一系列信号。因此，需要不同的探测器，如x光能谱分析仪和二次电子探测器来区分这些信号，以获得所需的信息。虽然x光信号不能用于成像，但习惯上将x光分析系统分为成像系统。
3、真空系统
真空系统研究主要内容包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是密封柱检测器。真空泵用于在真空柱中产生真空。有机械泵、油扩散泵和涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵组合可以满足钨丝喷枪扫描电镜的配置真空要求，但用于安装现场诱导的点火枪或六根钛和六波龙喷枪扫描电镜，需要机械泵加涡轮分子泵组合。增加电子的平均自由范围，以便更多的电子用于创建图像。
