钨丝扫描电镜获得优质的扫描图像和稳定EDS,WDS分析光束流,首先使钨丝扫描电镜处于良好的状态,如电子光学系统轴好,仪器稳定性好,消除散射等。然后选择适当的工作条件,如加速度电压、光束流量、光束直径、正交孔、工作距离、样品倾斜角、消除样品电荷等。此外,图像质量还与样品的原子数、次电子的屈服率、样品的外观等有关。以下是影响图像质量和光束流的一些关键因素。
(1)电子光学合轴
钨丝扫描电镜的电子光学系统由电子枪、聚光镜、物镜和物镜光圈组成。电子枪可以机械调整或自动关闭。当轴闭合时,图像的亮度最高。
不同类型的钨丝扫描电镜有不同数量的物镜光圈。为了获得高分辨率的图像和稳定的束流,需要在更换和清洗物镜光圈后重新调整物镜光圈的位置,使物镜光圈的位置在物镜极靴的中心。这个调节过程叫做物镜光圈关闭。
光阑合轴是通过一个光阑的x,y方向发展移动旋钮进行自我调节,调节后我们通过分析图像聚焦,来观察图像信息是否有移动,如果高倍图像在聚焦过 程中不发生图像以及移动,而且束流最大,说明光阑合轴良好。
(2)加速电压
加速电压是灯丝和阳极之间的电位差,它通过加速从电子源发射的电子来实现。