影响钨丝扫描电镜性能的因素有哪些（二）-上海曼戈斐光学技术有限公司

影响钨丝扫描电镜性能的因素有哪些（二）

2021-01-19 13:14:44

（3）聚光镜磁电流
传入电子束电流，称为光束流，由聚光灯的激发电流调节，强激发电流的光束流量较小，电子束直径小，图像分辨率高，信号噪声比降低。由 WDS 和 EDS 分析的较大光束通常由较小的激励电流调节。钨丝扫描电镜电子束直径的大小调整实际上是调整光束流的大小，因为光束点大小大，光束流量也很大。有些钨丝扫描电镜不能通过调整聚光灯流的大小来调节光束流，只能通过不同的镜面光孔来调节光束流，这种光束流不能连续调节。

（4）物镜光阑
物镜的光圈对景深有明显的影响。20和100孔径的景深图像。右边是100个光圈的小景深图像。箭头指的是镜头的位置。左边是20孔的大景深图像。箭头清晰可见。
（5）工作距离
工作距离是影响图像分辨率和景深的重要因素。短工作距离可以获得高分辨率、小景深的图像。
（6）试样倾斜角
大试样倾斜角图像数据信号强、有立体感并可以通过改善导电性差的试样表面荷电现象。在测量结果图像信息特征长度单位或者EDS定量研究分析时，试样最好不倾斜，否则要及时进行倾斜角度校正。

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