扫描电镜和透射电镜这两种技术设备都使用电子来获取样品的图像,它们的主要内容组成一个部分是相同,下面就介绍研究一下他们两者相互之间的区别。
与光学显微镜和透射电子显微镜相比,扫描电子显微镜具有以下特点:
(1) 在观察外观时,样品中的其他信号也可用于微区域成分分析
(2)样品制备过程简单,无需切片,景深大,图像富有立体感。。
(3)样本可在样本室的三维空间内移动和旋转,以便从不同角度观察样本。
(4)扫描电镜的景深比透射电镜大几十倍,可放大十几倍到几十万倍,它基本上可以包括了从放大镜、光学电子显微镜进行直到通过透射电镜的放大能力范围。
(5)分辨率以及介于传统光学显微镜与透射电镜之间, 分辨率比较高可达3nm。
(6) 能够通过直接进行观察分析样品材料表面的结构,样品的尺寸变化可大至120mm×80mm×50mm,图象的放大作用范围广。
由于我国电子易散射或被物体能够吸收,故穿透力低,必须具有制备更薄的超薄切片。当电子束投射到样品上时,相应的电子发射可能发生,这取决于结构组成部分的密度。