扫描电镜（sem）是一种用电子束扫描物体表面的成像技术。空气的存在会使电子束变形，影响扫描效果，使样品能够承受高真空。
2.样品表面可以导电
样品表面必须导电，如果没有镀金，以提高导电性。在大多数情况下，主电子束电荷大于回射电子和二次电子的数量，因此必须在地下导入多余的电子，即样品表面水平必须保持在0。对于非导电样品，建议用离子溅射涂装机喷涂金属，从而显著提高扫描电镜观测到的图像质量。
3.特殊样品制备的注意事项
一般来说，不建议在扫描电镜下观察磁性材料。如果必须观察这种材料，建议先消磁。如果要检测和观察弱对比度机制，必须消除强对比度机制（如形状对比度） ，否则很难检测到弱对比度。当希望个背散射电子衍射的电子衍射、 i 型和 ii 型磁性对比度或其他弱对比度机制时，磁性材料的磁畴特性必须消除样品的形态。采用化学抛光、电解抛光，使样品几乎消除了镜面的外观。
4.样品必须是干燥的
水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发，从而大大降低灯丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束的能量色散，从而增加色差，降低分辨率。
