1.光学显微镜以可见光为介质，电子束为介质。由于电子束的波长远小于可见光的波长，电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜。光学显微镜的最大放大倍数约为1500倍，扫描电镜的最大放大倍数超过10000倍。
2. 根据德布罗格利波动理论，电子的波长只与加速度电压相关：
λe=h / mv= h / （2qmV）1/2=12.2 / （V）1/2 （Å）
在加速电压10kv 时，电子的波长只有0.12 μ，远低于可见光范围4000-7000 μ，因此电子显微镜的分辨率自然要比光学显微镜好得多，但扫描电镜的电子束直径大多在50至100 μ 之间，来自原子核的电子弹性散射和非弹性散射的反应体积将大于原来的电子束直径，因此平均透射电子显微镜的分辨率高于扫描电镜。
3.钨丝扫描电镜是最便宜、最常用的一种。它通过热离解发射电子。电子能量色散为2ev，钨的功函数约为4.5ev。钨丝直径约100μm，弯曲成V形细丝。工作温度约为2700k，电流密度为1.75a/cm2。在使用中，钨丝直径随着钨丝的蒸发而减小，使用寿命约为40～80小时。
4. 无热模式电子枪有钨（W）灯丝和laB6灯丝两种，它是利用高温使电子有足够的能量来克服电子枪材料的电功能而逃逸。对发射电流密度有显著影响的变量是温度和功能函数，但由于电子枪的操作称为最低温度，以降低材料的挥发性，因此在工作温度不升高时，需要使用低功耗函数材料来提高发射电流密度。
