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3D激光共聚焦显微镜在电子半导体行业的测量应用-NanoFocus
2018-11-09 16:25:56


        NanoFocus激光共聚焦显微镜高效快速测量系统能够满足现代电子半导体生产制造和失效分析的全部测量需求。在高分辨率测量系统的帮助下,新产品和生产工艺的研发变得更加轻松快捷。NanoFocus的前沿技术有助于开发更紧凑的电子元件。
 应用
在当今的电子产品发展趋势中,小型化是一个永恒的挑战,其目的就是为了削减成本,提供零缺陷的产品。因此,对分立部件的几何公差(如共面性、短路和翘曲,以及粗糙度参数和体积)进行管控就显得尤为重要。NanoFocus的高性价比快速测量系统能够满足现代电子半导体生产制造和失效分析的全部测量需求。
导线架
用于集成电路封装的导线架必须满足严格的要求。所有的触点必须位于同一个平面上,即它们必须是共面的,并且满足表面粗糙度要求;同时组件也必须满足一定的翘曲度要求。使用轮廓仪可以快速准确地获取组件表面和基板轮廓,通过对一步对轮廓进行分析得到共面性、短路、基板挠度和粗糙度等参数。
导电线路和电路板
在电路板生产过程中采用蚀刻的方法在不同基材制作导电线路。在进入下一道工序前,必须对基材和线路进行检查。µscan可以通过一次测量同时获取基板翘曲和线路几何尺寸。µscan 3D共聚焦显微镜同样也能应用于品保部门检查各种不同材质的电路板和线路粗糙度。根据客户需求,NanoFocus可以提供自动化选项全自动完成测量和分析。
微凸块
NanoFocus µsprint拥有世界上最快的共焦传感器技术,特别适用于测量间距非常小的微凸块。得益于传感器的高分辨率和高动态特性,µsprint可以在几秒钟之内完成晶圆或陶瓷和塑料基板上的微凸块高度、直径、共平面度及其他各种参数的测量。可在锡膏印刷、回流焊或压印后进行此项检查。此外,对铜柱的检测同样适用。

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