力检测部分
在原子力显微镜系统中，微悬臂梁通常由硅或氮化硅晶片制成，长约100至500米，厚约500纳米至5米。微悬臂梁的尖端尖锐，用于检测样品与尖端的相互作用。微悬臂梁具有一定的长度、宽度、弹性系数和尖端形状等规格，根据样品的特点和工作方式选择这些规格，并选择不同类型的探头。
位置检测部分
在原子力显微镜系统中，当针尖与样品相互作用时，悬臂的摆动，所以当激光击中微悬臂的末端时，反射光的位置随着悬臂摆动而改变，这就产生了偏移。在整个系统中，激光光斑位置检测器记录偏移量，并通过 spm 控制器将偏移量转换为电信号进行信号处理。
反馈系统
在原子力显微镜系统中，激光探测器接收信号后，将其作为反馈系统中的反馈信号，并作为内部调节信号使用，通常由压电陶瓷管制成的扫描器被驱动移动，以保持样品和尖端之间的力。
总结
原子力显微镜系统使用压电陶瓷管制成的扫描仪来控制微小的扫描运动。压电陶瓷是一种具有特殊性能的材料。当电压施加到压电陶瓷的两个对称端面时，压电陶瓷将在特定方向上拉伸或缩短。并且延伸或缩短的尺寸与施加的电压线性相关。也就是说，压电陶瓷的微膨胀和收缩可以通过改变电压来控制。通常三个代表X、Y、Z方向的压电陶瓷块形成三脚架状，通过控制X、Y方向的伸缩来达到驱动探头在样品表面扫描的目的。探针和样品之间的距离可以通过控制压电陶瓷在Z方向的伸缩来控制。
