三坐标测量仪的机械部件种类繁多，传动系统和气路系统部件需要日常维护。维修频率的确定应根据三坐标测量仪的使用环境而定。
1.压缩以及空气对测量机的影响
压缩空气对于三坐标测量仪的正常运行非常重要，因此对于气路的维修和保养非常重要。
2.在使用量度机排出过滤器和空气压缩机或气体罐的水和油之前，每天都要检查管道和过滤器。
3.为了保护三坐标测量仪的导轨，应培养良好的工作习惯。
用布或橡胶垫住，以确保导轨的安全。下班后或上部结束后擦拭铁轨。当我们使用三坐标测量仪时，我们应该尽量保持测量机房的环境温度与检定机房的环境温度相同。
加强三坐标测量仪机房的管理，无多余人员留用。对三坐标测量仪的工作环境管理要更加严格。
1.影像测量仪中使用的传感器精度不高。为了节约成本，许多企业往往选用质量差的传感器，这些传感器远远小于三坐标测量仪中常用的传感器，这种原因往往是产生误差较大的主要原因。
2.由于生产企业技术条件不成熟，传感器的安装位置不正确。
3.就是人为影响因素，这种发展情况往往也与操作管理人员可以使用熟练程度有关。
4.产品质量不好，使用的产品要选择正规有力的产品。
