在制造业对产品质量日益重要的今天，尺寸测量一直是制造业的重要组成部分。一些精密设备复杂表面工作件的测量不能通过普通测量工具检测，只能使用高精度三坐标测量仪进行测量。但是，不同的三坐标测量仪有不同的测量功能，因此测量复杂表面的方法也不同。
普通的坐标测量仪一般不具备CAD数字模型功能，在测量曲面工件时，只能用CAD软件中的命令生成曲面模型上各点的坐标和剖面线作为理论值的参考，然后控制坐标测量仪处理相应的位置，再手动比对最后坐标值的偏差。
为了更好的测量，一些坐标测量仪具有数模测量功能。测量时只需将弯曲工件的CAD数字模型直接导入三坐标测量仪的软件中即可。经过简单的编程，三坐标测量仪可以进行全自动测量，并输出测量数据。
圆柱形探头：适合使用圆柱形的侧面测量细段、曲线图像或机孔之间的大小，只有圆柱形部分的方向有效，轴向难以测量多例，使用圆柱形头为整体时，圆柱形轴和三坐标测量机轴应保持一致。
星形探头：用于多工件的多形测量，多探头的标定和使用，以减少探头运动和测量边孔或槽等。用与球形探针相同的方法进行校准。
半球探头：用于测量深特征和孔；粗糙表面工件的测量也是有效的。
球形探头：多用于尺寸、图像、坐标测量等，球体直径一般为0.3 ~ 8.0mm，用途广泛；主要以硬度高、耐磨性强的工业红宝石为材料。
