表面三维形貌测量仪是用于测量三维空间几何结构尺寸和形位公差的高精度测量分析仪器。可检测以及各种问题复杂精密零部件的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置,全自动地进行研究微观环境检测与质量管理控制。表面三维形貌测量仪作为一种光学检测仪器,得益于光学工业的进步和发展,将有助于光学工业的进一步发展。
表面三维形貌测量仪的应用介绍:
(1)放大图形、缩小图形、平移图形、选中、取消选中、删除的图形。
(2)元素测量:多点测量点、直线、圆、圆弧、角度、椭圆、指定点测量矩形、点、线、圆、圆弧的自动识别。
(3)要素建设:中心点建设、交叉口建设、中点建设、线路建设、圈建、角施工。
(4) 设置任意轴并重置坐标系。
(5) 多种边缘搜索方式,计算机自动点,自动识别圆、弧,大大提高了点的速度。
(6)图像支持终端输入,图像大小为640 * 480毫米。
(7)玻璃材料表面进行台阶检测:
镀在透明玻璃表面的金属薄膜层需要测量薄膜层的厚度,由于其不透明特性,薄膜厚度计无法测量,而且由于薄膜层的厚度精度在纳米尺度上,接触步件仪等非接触式光学仪器也有较大的测量误差风险,并基于表面三维形貌测量仪开发的光学干扰原理,以其亚纳米级测量精度,可以准确测量薄膜的厚度。利用软件的自动台阶高度检测功能检测重建的三维图像的两级高度,从数值上可以知道两级之间的高度差。