表面三维形貌测量仪在物体的几何表面上创建点云，点云可以插入到物体表面的形状中。点云密度越大，模型就越精确。如果检测器能够得到表面颜色，则可以将纹理映射（称为纹理映射）粘贴到重建的表面上。
如今，在机器视觉、表面检测、物理复制、自动加工、产品质量控制、生物医学、工业设计、探伤、逆向工程、机器人导航、地貌测量、犯罪鉴定、数字文物收藏、电影制作、游戏创作等诸多领域，需要准确获取物体的三维信息，并快速转换成计算机可以直接处理的三维数字模型，特别适合测量高坡度高的材料表面的曲折。因此，表面三维形貌测量仪已经成为上述行业中非常流行的设备。
表面三维形貌测量仪的应用实例——玻璃表面步进检测：
镀在透明玻璃表面的金属薄膜层需要测量薄膜层的厚度，由于其不透明特性，薄膜厚度计无法测量，而且由于薄膜层的厚度精度在纳米尺度上，接触步件仪等非接触式光学仪器也有较大的测量误差风险，并基于中图仪器光学表面三维形貌测量仪开发的光学干扰原理，以其亚纳米级测量精度，可以准确测量薄膜的厚度。利用该软件对重建的三维图像进行二阶高度检测，并通过数值计算得到二阶高度的差值。
