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太阳能行业3D形貌测量应用(金手指金字塔有成熟测量方案)
2018-12-20 16:38:05


μsurf solar可以选配微分干涉 (DIC,微分干涉像差显微技术)用于再现金字塔的角度变化及快速检测晶片上的脏污和缺陷。与通过硬件实现DIC功能相比,由NanoFocus 3D形貌测量开发的实现软件DIC具备众多优点:如使用方便,可同时显示不同角度和方向,不受高度范围限制等。
运用新算法的区域测量能够提供绝对稳定和可重复的3D数据。通过结合高度和反射强度数据,可以精确地确定边缘,从而可以以纳米级精度测量手指的高度和宽度。为了进一步提高测量效率,测量系统可以选配针对太阳能行业的便捷自动化软件。
应用
μsurf solar无需制备样品即可进行无损测量分析,这使得μsurf solar不仅适合在实验室使用,还适合于生产环境。对于μsurf solar,产品表面是否具有蚀刻结构或抗反射涂层并不会影响测量结果;此外,对于具有诸如陡峭的边缘、纳米范围复杂几何形状和结构等棘手特征的样品,μsurf solar在几秒钟内即可提供精确且可重复的3D测量数据。
金字塔结构
μsurf solar自动确定金字塔的分布、角度、高度、数量和同质性。
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