在缺陷分析过程中, 激光共聚焦显微镜充分发挥了其在三维形貌测量上的优势, 在普通光学显微镜已经无法分辨的高度方向的信息时, 它填补了这一空白, 对其微观形貌进行了三维分析, 并且得到了整个观察区域在三维空间上的坐标, 对金属材料表面黑色缺陷的来源分析起到了关键性作用。激光扫描共聚焦显微镜技术已发展得较为成熟, 在众多领域都有广泛的应用。而在金属材料微观观察上, 激光扫描共聚焦显微镜具有很多优势。他优于普通光学显微镜的分辨率及清晰度;对试样和检测环境要求低, 操作方便快捷, 可以做到无损检测;可以对空间三维形貌进行扫描,直观显示观察对象的三维形貌图;可对诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等表面形貌信息进行测量。因此, 激光扫描共聚焦显微镜在金属材料研发领域尤其是微观组织形貌观察上有着十分广阔的应用前景。