欢迎访问上海曼戈斐光学技术有限公司 服务热线:400-021-5870

热门关键词 : 光学轮廓测量仪 3D共聚焦显微镜 工业显微镜 工业X-ray/CT pcb基板清洁机 三坐标测量仪 金相显微镜 原子力显微镜 高速相机 全自动影像测量仪 奥林巴斯显微镜 球面测量仪 激光共聚焦显微镜 表面三维形貌测量仪

NanoFocus共聚焦显微镜和白光干涉仪的优劣势原理对比
2018-03-20 22:59:33


       白光干涉仪普遍应用在众多行业检测中,对于现代越来越复杂的工艺检测,也是心有余而力不足,德国NanoFocus AG研发的3D共聚焦显微镜的诞生,二者之间的区别优劣势有哪些呢?

白光干涉仪优点:

1.大范围测量(数平方毫米)

2.Z轴分辨率能达到0.1nm,水平分辨率0.3μm

3.快速测量,10s以内,但测量前需校正倾斜度

NanoFocus 3D共聚焦显微镜

Z轴分辨率为1nm,没有白光干涉仪高,但是测量到亚微米及以上尺寸时精度和白光干涉基本相同。

 

白光干涉仪的问题点:

a)无法检测到陡峭角度——当使用干涉仪测量陡峭角度的对象时,由于干涉图案集中在这些区域,无法准确的收集信息。(通常倾角35°)

 

使用白光干涉仪进行观察电磁波干扰导致无法测量曲面
 

 

NanoFocus 3D共聚焦显微镜优势

 

检测到陡峭角度最大83°——共焦测距系统,它利用白光反射强度可以测量有大角度特性的形状,并且不会有噪点形状。

 

 

 

使用共聚焦显微镜进行观察光会穿过凹槽检测曲面
 
白光干涉仪的问题点:

 

a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好,测量是难以执行,因此,很多样品并不能测量。如果反射光在参考面和测量面有巨大差异,那么样品也是不能测量的。(反射率必须大于4%的样品才能测量)

 
NanoFocus 3D共聚焦显微镜优势:
a)全反射率测量——可吸收反射光范围广,几乎对样品没有特殊要求,一般显微镜可以看的,就可以看。(反射率0%-100%都能测量)
 
如果参考面的反射率为 100%,同时测量面的反射率也约等于 100%,则会显示清晰的干涉条纹。但是,如果测量面的反射率仅为 1%,对比度就会变得模糊。
 

 

 

返回上一页
一键拨号 一键导航