扫描电镜结构原理-上海曼戈斐光学技术有限公司

扫描电镜结构原理

2020-09-08 15:52:39

引　　言
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。SEM与电子探针（EPMA）的功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱仪（WDS）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。

SEM与EPMA是分别发展起来的，SEM商品是1965年问世，当时分辨率约为25nm。我国1973年研制，已生产多种型号的SEM。国产机的分辨率和可靠性等方面与进口机器相比，还有一定的差距，现在SEM主要靠进口。日本每年生产SEM约1600台，国内现有SEM超过500台。

扫描电镜结构原理
1. 扫描电镜的工作原理及特点
扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似

扫描电镜成像示意图

扫描电镜成像示意图

2. 扫描电镜的主要结构
　　主要包括有电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图象显示和记录系统、电源和真空系统等。

比　较
透射电镜一般是电子光学系统（照明系统）、成像放大系统、电源和真空系统三大部分组成。

扫描电子显微镜

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