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白光干涉仪

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中图SuperView W2光学3D表面轮廓仪

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SuperView W2光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W2光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
 
系统配置:
光源:白光/绿光LED(单双可选)
影像系统:1024×1024
干涉物镜:2.5×,5×、10×、20×、50×、100×
XY平台移动范围:200mm×200mm
控制方式:电动
Z轴行程:100mm
Z向扫描范围:10mm
Z向扫描速度:>45μm/s
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100%
水平调整:±6°电动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
 
应用领域:
  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
 
 
半导体制造(减薄粗糙度、镭射槽道轮廓)
 
光学元器件.曲率&轮廓尺寸&粗糙度
 
3C电子(玻璃屏).粗糙度
 

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