电子枪 | 预对中钨灯丝 |
加速电压 | 0.3kV – 30kV |
分辨率 | 3.0nm@30kV (SE) |
15.0nm@1kV (SE) | |
4.0nm@30kV (BSE, LV) | |
放大倍率 | 5x – 300,000x(底片倍率) |
7x – 800,000x(显示器倍率) | |
探测器 | 二次电子探测器,高灵敏度无分割背散射电子探测器 |
可变压力探测器UVD 2.0* | |
低真空可变压力范围 | 6 – 650Pa |
样品台(三轴马达) | X: 0 - 100 mm |
Y: 0 – 40 mm | |
Z: 5 – 65 mm | |
R: 0 – 360° | |
T: -20° - +90° |
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