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日立扫描电镜

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日立SU3800钨灯丝扫描电镜

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日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术,使其低电压性能大大提升,同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能,使其操作也变得更为简单。
主要特点:  
· HexBias偏压钨灯丝电子枪;  
· 优异的高、低电压性能; 
· 高灵敏度五分割背散射电子探测器;  
· 可变压力二次电子探测器(高、低真空可用);  
· 全新的操作界面和光镜导航功能;  
· 全自动灯丝设定和合轴;  
· 报告导出和图片处理;  
· 可集成的EDS;  
· 简单方便的维护(灯丝更换视频); 
应用领域: 材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造等。
主要参数:

电子枪 预对中钨灯丝
加速电压 0.3kV – 30kV
分辨率 3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率 5x – 300,000x(底片倍率)
7x – 800,000x(显示器倍率)
探测器 二次电子探测器,高灵敏度无分割背散射电子探测器
可变压力探测器UVD 2.0*
低真空可变压力范围 6 – 650Pa
样品台(三轴马达) X: 0 - 100 mm
Y: 0 – 40 mm
Z: 5 – 65 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°
*选配
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