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日立扫描电镜

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日立FlexSEM 1000钨灯丝扫描电镜

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FlexSEM1000是日立高新公司最新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜,拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计,配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头,具有卓越的低真空成像能量,并且采用最新的SEM MAP高精度导航系统及最新最全的自动化功能,使性能更加优越,使用更加简便。
特点
1.节能环保的设计
2.高效率的自动功能
3.简捷的操作界面
4.高分辨低真空观察
技术参数 

分辨率  4.0nm(加速电压20kV,高真空模式,二次电子像) 
  15.0nm(加速电压1kV,高真空模式,二次电子)
  5.0nm(加速电压20kV,低真空模式,背散射电子像)
 
放大倍率 底片倍率:6 – 300,000x 
  显示器倍率:16 – 800,000x  
 
加速电压 0.3-20kV
低真空可变压力范围 6-100Pa 
马达台 标配三轴自动马达
行程 X: 0-40mm
Y: 0-50mm
R: 360 °
Z: 5-15mm
T: -15- 90° 
电子光学系统 电子枪:预对中钨灯丝
信号检测系统:二次电子探测器;高灵敏度背散射探测器
 
真空系统 全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵:61L/S 1台
机械泵:100L/min 1台
安全装置:带停电、漏电保护的真空保护功能
操作辅助功能 电子束旋转;动态聚焦;画质优化功能
数据输入;2点间测量、角度测量、文字;预设倍率;
样品台位置导航功能(SEM MAP);电子束标记

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